真空电弧等离子射流蒸发法沉积超微粉

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在真空电弧等离子喷涂设备上设计安装了超微粉的制备装置。制备出 Fe,Si,Ni,Mo,TiAl,Ti_3Al 和 Si_3N_4等超微粉。通过控制真空室工作压力和等离子弧电流,超微粉的粒度可分别为5,10,20和50nm。观察了粉的形状、分布,测试了沉积速率。 In the vacuum arc plasma spraying equipment design and installation of ultrafine powder preparation device. Preparation of Fe, Si, Ni, Mo, TiAl, Ti_3Al and Si_3N_4 superfine powder. By controlling the working pressure of the vacuum chamber and the plasma arc current, the particle size of the ultrafine powder can be 5, 10, 20 and 50 nm, respectively. Observed the shape of the powder, distribution, testing the deposition rate.
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