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考察了不同离子、离子能量、离子束流密度等制备参数对离子辅助沉积的TiO_2、ZrO_2和SiO_2薄膜的折射率、吸收和激光损伤阈值等光学特性的影响。
离子辅助沉积氧化物薄膜的光学特性
【摘 要】
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考察了不同离子、离子能量、离子束流密度等制备参数对离子辅助沉积的TiO_2、ZrO_2和SiO_2薄膜的折射率、吸收和激光损伤阈值等光学特性的影响。
【机 构】
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中国科学院上海光机所
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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1992年2期
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