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分析了在微机械传感器与执行器中常用的3种微机械结构在静电力作用下的静态位移特性，并对典型结构进行了数值计算。结果显示对质量块平动的双端固支梁岛结构在静电力作用下极板的最大平衡位移正好为无静电力时极板间距的1／3，其他2种结构在静电力作用下极板中心处的最大平衡位移均略小于无静电力时极板间距的1／3。