【摘 要】
：
利用XRD、XPS、AES分析了As＋、B＋离子注入后的硅的表面成分、结构和化学状态，并通过AFM／FFM和SRV实验测量了As＋、B＋离子注入硅的微观摩擦和宏观摩擦磨损性能。结果表明，As＋、B＋离子注
【机 构】
：
清华大学摩擦学国家重点实验室!北京，100084,清华大学摩擦学国家重点实验室!北京，100084,清华大学摩擦学国家重点实验室!北京，100084
论文部分内容阅读
利用XRD、XPS、AES分析了As＋、B＋离子注入后的硅的表面成分、结构和化学状态，并通过AFM／FFM和SRV实验测量了As＋、B＋离子注入硅的微观摩擦和宏观摩擦磨损性能。结果表明，As＋、B＋离子注入后，单晶硅表面仍呈晶态，表面粘着力、微观及宏观摩擦系数增大，同时耐磨损能力增强。微观与宏观摩擦磨损特性的规律基本一致。
The surface composition, structure and chemical state of Si after As + and B + ion implantation were analyzed by XRD, XPS and AES. The micro-friction and macro-friction and wear properties of As + and B + ions were measured by AFM / FFM and SRV measurements. The results show that the surface of single crystal silicon is still crystallized after As +, B + ion implantation, the surface adhesion, microscopic and macroscopic friction coefficient increase, while the wear resistance increases. The microscopic and macroscopic friction and wear characteristics of the law are basically the same.
其他文献
用电子能谱分析方法对低能离子束外延（IBE）生长的β－FeSi2进行了详细研究，并对其电子能谱进行了表征．实测出XPS价带谱与有关理论计算结果相符，用XPS价带谱来表征β-FeSi2比光电子峰
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
一、指导思想根据普通高中《体育与健康》课程落实“立德树人”的根本任务,将促进学生的身心健康、体魄强健、全面发展作为核心追求,高度重视培养学生体育与健康学科的核心素
哈思山林场在改革中发展李锦堂哈思山林区，位于靖远县城北偏西７５公里处，总经营面积１２６０３９亩，有林地面积６９８６０亩，森林覆盖率为５３％，活立木总蓄积１７２２７３ｍ３。自建场以来，他们主要以封山管护，植树造林为主，林区在涵
呼盟大力研究推广林业实用技术米勇为加大林业生产的科技含量，加快发展步伐，呼盟从“六五”期间起，坚持科研与生产相结合。在治沙造林、在林保护等方面做了实用技术研究和推广工
薪炭林使和林人受益不浅武智双和林格尔县地处黄河中游的黄土丘陵区，长期存在烧柴困难，１９８６年以来，接受了林业部、自治区林业厅下达的营造７万亩薪炭林的试点任务。现在，他们已营造薪炭
随着奥运圣火点燃,里约奥运会火炬传递也正式拉开帷幕。曾经的奥运火炬传递只是采用跑步的形式,但自从1952年奥斯陆冬奥会挪威人别出心裁地用滑雪传递圣火后,人们便将科技、
要实现经济起飞,除了需要具备较高的资本积累率,还需要建立起若干高速发展的主导部门,通过“后向影响”、“前向影响”和“扩张性影响”来带动其他部门的发展。水运产业作为
发挥林业站的职能拓宽服务领域郑娣红巴盟林业站建设，从１９８４年开始起步，一直走在全区林业站建设的先进行列。十年来，他们不断努力，为全区林业站建设树立了样板。最近他们为使林业站建
人们在吸入含有二氧化硫(SO2)的空气会出现鼻阻塞反应。本研究使用麻醉猪测量SO2对鼻腔血管和气道阻力的影响以及其控制机制。将相同通气量的空气从呼出方向通入两侧鼻腔或直