微小力测量系统的实验研究

• 作 者: 王海涛 林玉池 付鲁华 齐永岳 赵美蓉 宋乐 吴颖
• 机 构: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
• 出 处: 传感器与微系统
• 发表日期: 2009年11期
• 关键词: 微小力值 电容变化量 位移变化量 micro-force value capacitance change displacement change

介绍了一种微小力值测量系统的设计方法。系统采用了自主设计的传感器结构,充分利用了圆柱形电容传感器量程大、线性好、边缘效应小等特点,通过高精度直线轴承保证了运动的同轴度,又利用增加屏蔽结构等方法用来消除寄生电容的干扰。检测电路基于新型高精度、集成式电容数字转换器AD7747与单片机,实现了对电容变化量dC的精确测量。实验结果表明:该方法为10-5N以下的微小力值测量提供了一种有效的解决方案。