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集成电路仿真是集成电路制造的重要辅助方法，刻蚀过程是集成电路制造的一个重要的过程。使用三角形面片对刻蚀过程进行建模，并推导出连接不同面的平面和曲面的计算公式。最后给出了刻蚀显示仿真结果。结果显示，刻蚀结果清晰，绘制速度快，占用资源少，可以满足实际的刻蚀显示要求。
集成电路刻蚀效果三维显示及其关键技术研究
【摘 要】
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集成电路仿真是集成电路制造的重要辅助方法，刻蚀过程是集成电路制造的一个重要的过程。使用三角形面片对刻蚀过程进行建模，并推导出连接不同面的平面和曲面的计算公式。最后给
【机 构】
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上海大学通信与信息工程学院
【出 处】
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计算机工程与应用
【发表日期】
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2009年23期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（863）（the National High-Tech Research and Development Plan of China under Grant No.2007AA01Z319）,上海市国际合作项目（No.075107035）,上海市教委电路与系统重点学科（No.J50104）,上海大学研究生创新基金项目（the Shanghai University＇ s G
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