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微悬臂梁结构传感器以其低成本、小体积、高性能在当今传感器研究中愈来愈受到重视.文章概述了以微悬臂梁为主要结构的传感器在化学及生物探测中的应用进展,介绍了几种可能用于化学和生物探测的高性能微悬臂梁传感器.
微悬臂梁在化学及生物传感器中的应用进展
【摘 要】
：
微悬臂梁结构传感器以其低成本、小体积、高性能在当今传感器研究中愈来愈受到重视.文章概述了以微悬臂梁为主要结构的传感器在化学及生物探测中的应用进展,介绍了几种可能用
【机 构】
：
复旦大学
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
2004年5期
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