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应用辉光放电技术对乙烯基三甲基硅烷(VTMS)与NH<sub>3</sub>混合体系进行等离子体聚合,聚合物膜淀积在玻璃基片上,检测了膜的湿度敏感性。在VTMS/NH<sub>3</sub>比为1/1条件下制备的PP(VTMS/NH<sub>3</sub>)的电阻滞后可以忽略,响应时间为20秒,当相对湿度从32%变化到92%时,电阻从10<sup>10</sup>Ω降低到10<sup>6</s