【摘 要】
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1.引言人们在进行高性能摄象器件的研究中,将氢化无定形硅(α—Si:H)膜用作摄象管的靶正在引人注目。其原因是α—Si:H靶具有灵敏度高、分光灵敏度复盖了整个可见光区域、分
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1.引言人们在进行高性能摄象器件的研究中,将氢化无定形硅(α—Si:H)膜用作摄象管的靶正在引人注目。其原因是α—Si:H靶具有灵敏度高、分光灵敏度复盖了整个可见光区域、分辨率高、烧伤现象非常小等特点。而且,和固体摄象器件相比较,虽然在薄形、
1. INTRODUCTION In the research of high performance camera devices, the target of using hydrogenated amorphous silicon (α-Si: H) film as a camera tube is attracting attention. The reason is that the α-Si: H target has high sensitivity, spectral sensitivity covers the entire visible light region, high resolution, burn phenomenon is very small and so on. Moreover, compared with solid-state imaging devices, though thin,
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