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本文介绍了在多级光杠杆测量微位移的基础上,结合光学的等厚干涉原理以及光路可逆原理,设计出一种理论上测量精度达1nm以下微位移测量方案.相对于纯粹的光杠杆测量微位移方法而言,该方法在系统设计上更具优势.
等厚干涉测量微位移
【摘 要】
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本文介绍了在多级光杠杆测量微位移的基础上,结合光学的等厚干涉原理以及光路可逆原理,设计出一种理论上测量精度达1nm以下微位移测量方案.相对于纯粹的光杠杆测量微位移方法
【机 构】
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武汉理工大学物理系,湖北武汉,430070
【出 处】
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科技风
【发表日期】
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2004年期
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