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超声键合是实现集成电路封装中芯片互连的关键技术之一。对于超声键合过程焊点形成机理以及超声在键合过程中发挥的作用的正确理解是实现参数优化和获得可靠焊点的关键。综述了超声键合技术连接机理，归纳总结并探讨了四种键合机制，包括：摩擦生热键合理论、位错理论、滑动摩擦及变形理论和微滑移理论。
芯片互连超声键合技术连接机制探讨
【摘 要】
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超声键合是实现集成电路封装中芯片互连的关键技术之一。对于超声键合过程焊点形成机理以及超声在键合过程中发挥的作用的正确理解是实现参数优化和获得可靠焊点的关键。综述
【机 构】
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哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2007年1期
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