GaAs表面的室温光致氮化

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jeanstrouse
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在纯氮气体起辉放电产生的紫外光的激励下,到达GaAs表面的N2会离解并和Ga、As原子成键,X射线光电子能谱测量结果证实了这一设想. Excited by the ultraviolet light generated by the pure discharge of pure nitrogen gas, the N2 reaching the surface of GaAs dissociates and bonds with Ga and As atoms. The X-ray photoelectron spectroscopy measurement confirms this assumption.
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