【摘 要】
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<正> 随着微机械技术的灵活运用,现在积极进行着可以将极微量液体高精度输液的微泵的研究开发。在过去,微量泵作为医疗用,是用来连续注入胰岛素、镇痛剂等。另外,通过阀门、
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<正> 随着微机械技术的灵活运用,现在积极进行着可以将极微量液体高精度输液的微泵的研究开发。在过去,微量泵作为医疗用,是用来连续注入胰岛素、镇痛剂等。另外,通过阀门、流体通路等同时被微小化,可以期待检查、分析血液、药品类等仪器的市场将扩大。但是在流体器件,尤其是液体处理器件的微型化中,流体管路的阻力大大影响泵的性能。另外,还有伴随小型化的驱动能量方法等课题。本文介绍激光作驱动能量的微泵。
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