【摘 要】
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研究了直流溅射造成硅器件性能劣化的原因，探讨了用液相钝化预处理能提高溅射合格率的机理，提出了避免劣化的方法．试验证明，液相钝化多孔硅加溅射含氧非晶硅（ａ－ｓｉ：ｏ）所形成的复合膜是用于
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研究了直流溅射造成硅器件性能劣化的原因，探讨了用液相钝化预处理能提高溅射合格率的机理，提出了避免劣化的方法．试验证明，液相钝化多孔硅加溅射含氧非晶硅（ａ－ｓｉ：ｏ）所形成的复合膜是用于硅晶闸管表面保护的较好的无机材料
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个人观点一直梦想着蓝军历史上的首座冠军杯由他率队取得,2007年9月20日,我失去了一个梦想,斯坦福桥也告别了最美好的时光。抗议无效,私有滋生一言堂。看到消息时心头一颤,最