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在150kW等离子体装置中,制取脱硅锆(ZrO288.60%~96.90%)和稳定型氧化锆(ZrO291.54%,MgO5.39%)探讨了温度,时间和配碳量等对脱SiO2率的影响,建立了Si-C-N-O系和Zr-C-N-O系相平衡图,从理论上说明不具备生成Si3N4的热力学条件,而在等离子体炉内的小区域具备生成ZrC和ZrN的条件,这些结论得到实验验证。