【摘 要】
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介绍了深能级瞬态谱（DLTS）的基本原理,作了n型样品的深能级瞬态谱的计算。描述了DLTS信号的仿真方法,对n型6H-SiC中的一个深能级陷阱中心用Labview进行了仿真实验,探讨了率窗值
【机 构】
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桂林理工大学现代教育技术中心,桂林理工大学机械与控制工程学院
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介绍了深能级瞬态谱（DLTS）的基本原理,作了n型样品的深能级瞬态谱的计算。描述了DLTS信号的仿真方法,对n型6H-SiC中的一个深能级陷阱中心用Labview进行了仿真实验,探讨了率窗值等各参数对DLTS信号形状的影响。仿真结果表明,DLTS峰值温度及半宽度随着所有的参数改变而变化,但峰值的高度只与率窗值的选择有关。
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