【摘 要】
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一、前言 在半导体压力传感器研制中,应变电阻的设计方案常采用图1中给出的类型。无论采用哪种设计方案,在刻制电阻时,都要求四个应变电阻的阻值在理论上是一致的。因为四个
【机 构】
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机电部第四十九研究所,机电部第四十九研究所
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一、前言 在半导体压力传感器研制中,应变电阻的设计方案常采用图1中给出的类型。无论采用哪种设计方案,在刻制电阻时,都要求四个应变电阻的阻值在理论上是一致的。因为四个电阻的一致性直接影响着零点输出,零点温度漂移、灵敏度温度漂
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