三浮陀螺有源磁悬浮位置信号采集电路研究

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三浮陀螺仪对磁悬浮定中精度提出ε≤0.27μm要求,位移信号采集电路的灵敏度应该高于该要求,电路设计目标定为0.09μm,可以从位置信号采集电路L-R电桥、调理电路和A/D转换电路三部分保证这一目标。给出了两种最佳匹配电阻的估算方法,基于实测电感带入经典公式估算法和电磁仿真软件FLUX估算法,结果表明实验测试的最佳匹配电阻一般高于估算值约30%。推导了调理电路性能指标和A/D转换电路位数与定中精度的关系,结合试验验证了电路设计指标优于0.09μm,完成电路设计任务。 Three floating gyroscope magnetic levitation centering accuracy of ε ≤ 0.27μm requirements, the displacement signal acquisition circuit sensitivity should be higher than the requirement, the circuit design goals set at 0.09μm, from the position signal acquisition circuit LR bridge, conditioning circuit and A / D conversion circuit in three parts to ensure that goal. Two methods for estimating the best matching resistance are given. Based on the measured inductance, the classical formula estimation method and the electromagnetic simulation software FLUX estimation method are presented. The results show that the best matching resistance of the experimental test is generally higher than the estimated value of about 30%. The relationship between the performance index of the conditioning circuit and the number of digits of the A / D conversion circuit and the centering accuracy is deduced. The circuit design index is verified to be better than 0.09μm by the experiment and the circuit design task is completed.
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