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Design and fabrication of an surface acoustic wave resonator based on AlN/4H-SiC material for harsh
【机 构】
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CollaborativeInnovationCenterforMicro/NanoFabrication,StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasurementTechno
【出 处】
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浙江大学学报：A卷英文版
【发表日期】
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2017年1期
【基金项目】
：
Project supported by the Tsinghua University Initiative Scientific Research Program （No. 20131089351）, China
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