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把超精密测量机床误差元素分为几何运动误差和热变形、接触变形等非刚体效应误差,利用齐次坐标变换方法结合测头与工件之间联结链的封闭特性,给出了超精密偶件测量仪几何和热误差以及探头和工件接触变形误差的综合数学模型.
超精密偶件测量仪的误差运动综合数学模型
【摘 要】
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把超精密测量机床误差元素分为几何运动误差和热变形、接触变形等非刚体效应误差,利用齐次坐标变换方法结合测头与工件之间联结链的封闭特性,给出了超精密偶件测量仪几何和热
【机 构】
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湖南长沙国防科学技术大学精密机械与仪器研究所,长沙,410003超精密加工技术国防科技重点实验室,北京,100076;
【出 处】
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城市道桥与防洪
【发表日期】
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2004年期
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