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近些年来,随着集成电路（IC）技术的进步,围绕集成电路的相关应用得到迅速发展,超高纯铝合金溅射靶材作为集成电路金属互连线制造中的配套材料,由此成为最近国内研究的热点。本文就超高纯铝合金溅射靶材在金属互连线中的应用、性能要求、加工工艺以及发展前景进行了综述。
超高纯铝合金互连线及其溅射靶材
【摘 要】
：
近些年来,随着集成电路（IC）技术的进步,围绕集成电路的相关应用得到迅速发展,超高纯铝合金溅射靶材作为集成电路金属互连线制造中的配套材料,由此成为最近国内研究的热点。本文
【机 构】
：
青海大学机械工程学院,重庆大学材料科学与工程学院
【出 处】
：
轻合金加工技术
【发表日期】
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2011年7期
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