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分析了德国英格索尔公司典型的６Ｆ２Ｋ型超精铣刀的结构特点，对切削过程中的切削力、直刃刀片及带圆弧刃刀片的使用进行了分析，研制出结构合理、精度高、调整方便、模块结构的超精铣刀。选用了带大圆弧刃的ＹＣＥ４３４－０１型刀片，试验出合理的几休角度，找出了影响表面粗糙度及平面度的塑性变形有、弹性变形、热变等因素，研究出了一条加工大平面以铣代磨的工艺。