【摘 要】
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保护膜的表面特性严重影响ＡＣＰＤＰ的性能。本文以电子束蒸发法制得的ＭｇＯ保护膜为例，有关热处理条件对保护膜表面基本特性，如结晶结构、表面形貌及成分等的影响进行了研究。
The surface
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所,西安交通大学电子物理与器件研究所
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保护膜的表面特性严重影响ＡＣＰＤＰ的性能。本文以电子束蒸发法制得的ＭｇＯ保护膜为例，有关热处理条件对保护膜表面基本特性，如结晶结构、表面形貌及成分等的影响进行了研究。
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