化学量传感器

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【摘要】

：

<正> 第四讲离子敏场效应器件五、以pH-ISFET为基础的ISFET及CHEMFET敏感膜制备工艺如前所述,在巳制成的Si_3N_4膜pH-ISFET敏感栅上再复盖一层对某种离子或化学物质敏感的

【作者】

：

武世香虞悼

【机构】

：

哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学

【出处】

：

传感器技术

【发表日期】

：

1990年1期

【关键词】

：

化学量传感器

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<正> 第四讲离子敏场效应器件五、以pH-ISFET为基础的ISFET及CHEMFET敏感膜制备工艺如前所述,在巳制成的Si_3N_4膜pH-ISFET敏感栅上再复盖一层对某种离子或化学物质敏感的介质膜即可制成相应的敏感器件,而且敏感膜是关系到器件灵敏度、选择性、稳定性、重现性等性能优劣的关键,敏感膜的性能又取决于制膜材料

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