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半导体设备的可靠性、维修性和可用性
半导体设备的可靠性、维修性和可用性
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:leijian_118
【摘 要】
:
当今在半导体设备采购中,需方(Purchaser)除关注设备的性能和工艺保证性指标(Guaranteed Specifications)外,还普遍关注设备的可靠性(Reliability)、维修性(Maintainability)和可用性(Av
【作 者】
:
董大为
【机 构】
:
北京七星华创电子公司
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2008年3期
【关键词】
:
半导体设备
可靠性
可用性
维修性
设备采购
工艺保证
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当今在半导体设备采购中,需方(Purchaser)除关注设备的性能和工艺保证性指标(Guaranteed Specifications)外,还普遍关注设备的可靠性(Reliability)、维修性(Maintainability)和可用性(Availability)。
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