【摘 要】
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利用相位掩膜技术制备光纤光栅的紫外曝光系统李燕，梁国栋，徐迈（中国科学院长春物理研究所，长春１３００２１）（中国科学院激发态物理开放实验室，长春１３００２１）王庆亚，孙英志，张建，张玉书（集成光电子学国家重点
【机 构】
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中国科学院长春物理研究所，中国科学院激发态物理开放实验室，集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学分区，长春邮电学院
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利用相位掩膜技术制备光纤光栅的紫外曝光系统李燕，梁国栋，徐迈（中国科学院长春物理研究所，长春１３００２１）（中国科学院激发态物理开放实验室，长春１３００２１）王庆亚，孙英志，张建，张玉书（集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学分区，长春１３００２３）...
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