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文章介绍了退火质子交换机理和制作LiNbO3光波导的工艺过程。
退火质子交换法制作LiNbO3光波导
【摘 要】
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文章介绍了退火质子交换机理和制作LiNbO3光波导的工艺过程。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2000年A03期
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