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本文在双F-P腔光纤干涉仪测距原理和光纤探针粗糙度测量方法的基础上,提出了光纤F-P干涉传感器的高精度表面粗糙度测量原理.着重探讨了其测试方法.
光纤F-P干涉传感器进行精密表面粗糙度测量原理探讨
【摘 要】
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本文在双F-P腔光纤干涉仪测距原理和光纤探针粗糙度测量方法的基础上,提出了光纤F-P干涉传感器的高精度表面粗糙度测量原理.着重探讨了其测试方法.
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2001年z2期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(598750657).
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