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介绍了光学薄膜中包裹物微缺陷的危害,分析了它产生的根源、表征手段以及抑制办法.综述了在这一领域的研究进展和现状.
光学薄膜中的包裹物微缺陷
【摘 要】
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介绍了光学薄膜中包裹物微缺陷的危害,分析了它产生的根源、表征手段以及抑制办法.综述了在这一领域的研究进展和现状.
【机 构】
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深圳大学理学院应用物理系,深圳,518060中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2006年4期
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