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在透射电子显微镜（TEM）样品制作中，对接膜样品制作最为复杂，同时得到的薄膜信息也非常多，是进行材料研究的一个非常有用的观测方法。并介绍了这种样品的制作过程和样品的测试分析情况。
透射电子显微镜对接膜样品的制作
【摘 要】
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在透射电子显微镜（TEM）样品制作中，对接膜样品制作最为复杂，同时得到的薄膜信息也非常多，是进行材料研究的一个非常有用的观测方法。并介绍了这种样品的制作过程和样品的测试分析
【机 构】
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大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年1期
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