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本文研究了ＭＺＯＳ结构的电学性质及热处理效应，并进行了Ｘ线衍射分析和电子能谱分析。发现适当温度下的氧退火处理对改善ＺｎＯ膜的Ｃ轴对称性、降低Ｓｉ表面有效电荷密度显著效果。
MZOS结构的电学性质及退火效应
【摘 要】
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本文研究了ＭＺＯＳ结构的电学性质及热处理效应，并进行了Ｘ线衍射分析和电子能谱分析。发现适当温度下的氧退火处理对改善ＺｎＯ膜的Ｃ轴对称性、降低Ｓｉ表面有效电荷密度显著效果。
【机 构】
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兰州医学院物理教研室,兰州大学物理系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1997年12期
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