【摘 要】
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随着半导体集成度的提高、芯片尺寸的增大,掩模的质量成了影响片子成品率的最重要因素之一。大量生产高质量的掩模技术,对半导体工业是不可缺少的,也可以说是决定集成度界限
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随着半导体集成度的提高、芯片尺寸的增大,掩模的质量成了影响片子成品率的最重要因素之一。大量生产高质量的掩模技术,对半导体工业是不可缺少的,也可以说是决定集成度界限的技术。尺寸为5毫米见方的芯片,集成度在1500门以上的LSI掩模的设计,要求是图形尺寸为5微米,图形重合精度、尺寸精度为±0.5微米。掩模制造系统分设备、材料、工艺三大部分。近几年来,由于设备显著改进,工艺几乎都自动化,基本上满足了上
With the improvement of semiconductor integration, chip size increases, the quality of the mask has become one of the most important factors affecting the yield of the chip. The mass-production of high-quality mask technology is indispensable to the semiconductor industry and can be said to be the technology that determines the limits of integration. The size of the chip 5 mm square, the LSI mask integrated at more than 1,500 degrees, the design requirements of the graphics size of 5 microns, graphics coincidence, dimensional accuracy of ± 0.5 microns. Mask manufacturing system sub-equipment, materials, technology three parts. In recent years, due to the significant improvements in equipment, almost all the process automation, basically to meet the
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自律是领导干部人格,更是党风政风清正的关键。剖析卢建中的受贿行为,可以看出,贪欲将“人民的公仆”拉到人民的对立面。卢建中,原广东省河源市委副书记,2005年5月被法院以受
我们都知道酒能醉人，但如果说某些植物也有醉人的功效， 你信吗？ 木菊花 在非洲坦桑尼亚（tǎn sānɡ ní yà）的山林中，生长着一种木菊花，又叫“醉花”。它的花瓣（bàn）能释放出一种清甜的香味，无论是动物还是人，只要一闻到这种香味，马上就会变得昏（hūn）昏沉沉。如果你摘（zhāi）一片它的叶子放入口中咀嚼（jǔ jué），用不了多久，你便会晕（yūn）倒在地。 醉人草 在非洲埃塞
马塔杀千方百计闯入人类世界,这次他的目标是征服整个宇宙。只有亚瑟可以阻止马塔杀的计划,但是他必须先恢复到正常大小,幸好他有赛蕾妮亚和贝达麦许的帮助,而令人惊讶的是马
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为迎接2000年的到来,Pinnacle,Avid与天域时捷公司隆重推出非线性编辑名品套件,该套件包括:Pinnacle公司Targa 2000RTX板卡,Avid公司MCXpress非线编软件、Boris FX三维特技
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引言 近年来,人们很注意用于信息处理光电装置的高效发光管。用Ⅲ—Ⅴ族元素,同质p—n结制作的发红和绿光的发光二极管取得了很大进展。但是,直到目前为止,还没有作出发浅蓝