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一种空间谐振式MOEMS陀螺的设计及分析
一种空间谐振式MOEMS陀螺的设计及分析
来源 :华东科技:学术版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pk8984812
【摘 要】
:
提出一种新型的利用空间光路敏感Sagnac效应的谐振式MOEMS陀螺,设计了利用微镜构成的光学谐振腔。此结构具有小型化优势,可利MoEMs工艺进行加工。理论分析了光源及谐振腔参数时
【作 者】
:
张康隆
【机 构】
:
黄石职业技术学院
【出 处】
:
华东科技:学术版
【发表日期】
:
2012年7期
【关键词】
:
MOEMS
陀螺
空间谐振式
仿真
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提出一种新型的利用空间光路敏感Sagnac效应的谐振式MOEMS陀螺,设计了利用微镜构成的光学谐振腔。此结构具有小型化优势,可利MoEMs工艺进行加工。理论分析了光源及谐振腔参数时陀螺基本探测极限的影响,指导参数设计,得到陀螺的极限灵敏度为1.54。
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