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今日，光－电－机微系统（ＭＯＥＭＳ）和器件的发展不再集中的局限于可行性研究和作为昂贵的示范表演器。恰恰相反，微型光学元件正以大量各种各样的产品形式，供应欣欣向荣的动态市场。而且这些产品的生产规模，或多或少已接近廉价的大规模生产。膏无疑问，ＭＯＥＭＳ的一个主要应用领域是无线远程通信和数据通信，而小型的光学传感器（例如光谱仪和干涉仪）则在许多生物技术、化学和制药工业的应用方面增长较快。在本文中，列举了