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期刊论文
脉冲激光大面积均匀镀膜技术
脉冲激光大面积均匀镀膜技术
来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:saraxian
【摘 要】
:
介绍了脉冲激光大面积均匀镀膜技术的镀膜装置、工作原理及其应用前景。
【作 者】
:
王浩
【机 构】
:
广东五邑大学
【出 处】
:
新技术新工艺
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
脉冲激光
镀膜
大面积
靶材
反射镜
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介绍了脉冲激光大面积均匀镀膜技术的镀膜装置、工作原理及其应用前景。
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