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【摘 要】
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用溶胶凝胶（Sol-Gel）法制备了三种钛酸锶钡（Ba0.6Sr0.4TiO3, BST）薄膜：常规的四层薄膜, 在逐层制备过程中，对首层薄膜进行中间热处理（Preheat-treatment, PT）的四层薄膜及间隔或交替
【机 构】
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电子科技大学电子科学技术研究院
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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2009年5期
【基金项目】
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博士点基金（20060614021）,四川省应用基础研究（2008JY0057）,电子科技大学中青年学术带头人培养计划（Y02018023601053）
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