立方相ZnMgO的电学特性

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：vc__

【摘要】

：

在半导体硅衬底上沉积C-ZnMgO纳米薄膜,并做成金属-绝缘体-半导体(MIS)结构.通过测试MIS结构的C-V曲线,计算得到C-ZnMgO材料的介电常数为10.5±0.5,并获得了介电常数的频

【作者】

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金国芬吴惠桢梁军劳燕锋余萍徐天宁

【机构】

：

浙江大学物理系,中国科学院上海微系统与信息技术研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2007年z1期

【关键词】

：

C-ZnMgO薄膜 MIS结构介电常数漏电性能

【基金项目】

：

国家自然科学基金(批准号,60676003)和浙江省自然科学基金(批准号:2406092)资助项目

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在半导体硅衬底上沉积C-ZnMgO纳米薄膜,并做成金属-绝缘体-半导体(MIS)结构.通过测试MIS结构的C-V曲线,计算得到C-ZnMgO材料的介电常数为10.5±0.5,并获得了介电常数的频率响应:在1～8MHz的频率范围内,介电常数由10.5降到6.4.通过测试MIS结构的I-V特性曲线,对漏电流产生原因进行了讨论与分析.

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