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利用表面增强激光喇曼光谱仪测量Fecralloy(Fe-22Cr-5Al-0.3Y)合金表面Al2O3膜及Co-40Cr合金表面Cr2O3膜的残余应力,实验条件下,两种氧化膜残余应力值分别为2GPa和1.7GPa,如果Co-40Cr合金离注入3×10^17Y+/cm^2,Cr2O3膜发生破裂,Cr2O3膜的残余应力值显著降低,该测试方法简便,并可用于测量氧化膜内微区应力区应力分布,还可实现高温下原