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在SOI产业联盟主要成员的支持下,SOI产业联盟发布SOI与体硅FinFETs的对比研究报告。该研究评估了采用节隔离工艺制造在体硅晶圆上的FinFETs和制造在SOI
Supported by key members of the SOI Industry Coalition, the SOI Industry Alliance publishes a comparative study of SOI and bulk FinFETs. This study assesses FinFETs fabricated on bulk silicon wafers using sector isolation processes,