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晶体管、MOS器件
晶体管、MOS器件
来源 :电子科技文摘 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jrwal
【摘 要】
:
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【出 处】
:
电子科技文摘
【发表日期】
:
1999年08期
【关键词】
:
器件
固体电子学
干法刻蚀
MOS
隔离技术
泄漏电流
AlGaN
台面
直流特性
高频特性
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