【摘 要】
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继扫描隧道显微镜(STM)原子力显微镜(AFM)之后;光学显微术也采用纳米探头(probe)扫探而获得～12nm以至2nm分辨的结果,STM和AFM采用的探头是钨针,光学显微术采用的则是光纤针,
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所 上海 201800
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继扫描隧道显微镜(STM)原子力显微镜(AFM)之后;光学显微术也采用纳米探头(probe)扫探而获得～12nm以至2nm分辨的结果,STM和AFM采用的探头是钨针,光学显微术采用的则是光纤针,用腐蚀可获得极细的尖端(达1nm量级)。这种方式不能用于X光。
Subsequent to Scanning Tunneling Microscope (STM) Atomic Force Microscopy (AFM); optical microscopy was also screened using a nanoprobe at -12 nm to 2 nm resolution, with STM and AFM probes using tungsten needles, optical microscopy The technique used was a fiber optic needle, with extremely thin tips (up to the order of 1 nm) obtained by etching. This method can not be used for X-rays.
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