氧化铝陶瓷金属化层温度分析研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lijinjie1981
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工艺温度是影响陶瓷金属化质量的关键因素之一,针对高温氢炉中陶瓷金属化层温度难以实时测量的问题,本文建立氧化铝陶瓷金属化过程的三维流动传热数学模型。模型采用随温度变化的动态材料物性参数,考虑辐射、对流、传导三种传热形式,利用有限体积法求解陶瓷金属化过程中炉内的流动与传热问题,获得陶瓷金属化温度实时变化曲线。瞬态计算结果表明不同位置处最高烧结温度相差26℃,且比金属化工艺设定温度曲线低20~40℃,这为优化氢炉结构、进一步提高炉温均匀性提供参考依据。 Process temperature is one of the key factors that affect the quality of ceramic metallization. In order to solve the problem that the temperature of ceramic metallization in high-temperature hydrogen furnace is difficult to measure in real time, a mathematical model of three-dimensional heat transfer in alumina metallization process is established. In this model, physical parameters of dynamic material with temperature change are used, and three heat transfer modes of radiation, convection and conduction are considered. The finite volume method is used to solve the flow and heat transfer problems in ceramic metallization process. The real time variation curve of ceramic metallization temperature . The transient calculation results show that the maximum sintering temperature differs by 26 ℃ at different positions and is 20 ~ 40 ℃ lower than the temperature curve set by metallization process, which provides a reference for optimizing the structure of hydrogen furnace and further improving the uniformity of furnace temperature.
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