【摘 要】
：
介绍了一种基于偏振光干涉的直线度测量系统,该系统由固定部分和活动部分组成。测量时,活动部分固定在被测要素上。被测要素的直线度变化将导致两线偏振光相位的变化。通过计
【机 构】
：
海军驻中南地区光电系统军事代表室,国网湖北省电力公司,华中科技大学机械学院仪器系,
论文部分内容阅读
介绍了一种基于偏振光干涉的直线度测量系统,该系统由固定部分和活动部分组成。测量时,活动部分固定在被测要素上。被测要素的直线度变化将导致两线偏振光相位的变化。通过计量干涉条纹即可得到直线度的变化结果。实验显示本测量系统具有10nm的分辨率,在20mm的测量范围内误差≤0.5μm,提高了分辨率和测量精度。
A linearity measurement system based on polarized light interference is introduced. The system consists of a fixed part and an active part. Measurement, the activities of the fixed part of the measured elements. Changes in the straightness of the measured element will result in a change in the phase of the two linearly polarized light. By measuring the interference fringes you can get the results of changes in straightness. Experiments show that the measurement system with a resolution of 10nm, within the measurement range of 20mm error ≤ 0.5μm, increased resolution and measurement accuracy.
其他文献
“越是新的事物越要建立在坚实的传统基础上,没有强大和先进的制造业提供的研发设计、生产制造、在线检测、营销服务和经营管理等在内的全过程基础,战略性新兴产业就只是没有
进入21世纪以来,我国循环经济实现了有序健康发展。国家在省市、园区、重点行业、重点领域,开展了资源综合利用、园区循环化改造、城市矿产示范基地建设、再制造产业化、固废
“十三五”规划释放出中国经济转型发展的新信号。但为什么要加快转变经济发展方式,如何加大结构性改革力度,怎么实现更高质量、更有效率、更加公平、更可持续的发展?需要我
李克强总理在今年政府工作报告中提出了“互联网+”行动计划,推动移动互联网、云计算、大数据、物联网等新一代互联网技术与各行各业结合,促进电子商务、工业互联网和互联网
一直以来,我都认为“一带一路”将会是持久战,未来十年、二十年甚至更长时间内,是中央政府以及地方政府推动的大的发展战略。2014年12月1日,我参加了一个由习近平总书记主持
通过熔体过热处理方法,限定其它因素保持不变的情况下,研究了不同熔体过热温度对Cu-9Al-4Fe铝青铜合金(QAl9-4)的凝固组织及其高温力学性能的影响。结果表明:经熔体过热处理
改革开放既立足中国,也放眼世界。美国作为发达资本主义国家的代表,一直是中国改革开放的重要参照对象。中国一方面学习美国经验,吸纳美国的积极因素促进中国的现代化建设;另
国内外均以MA作为诊断DN主要依据被普遍认同,不仅反映肾脏损害,也反应全身血管内皮损害,临床试验已证实。2007年KDOQI糖尿病肾病、ADA指南中均推荐ACR为筛查MA的首选方法。除
放射治疗(以下简称放疗)是宫颈癌的主要治疗方法之一,可以作为宫颈癌的根治性、辅助性或姑息性治疗方法。本文就宫颈癌临床放疗工作中的一些具体方法、注意事项和进展进行阐
2016年上半年,国际形势发生深刻变革,“两面性”交互作用明显。一方面,和平与发展的时代潮流势不可当;另一方面,各国内外矛盾相互激荡,世界变得更加动荡不定,风险和挑战增多