金属有机化合物化学气相淀积含钛硬质涂层的过程研究

• 作 者: 周定为 韩杰
• 机 构: 华东化工学院联合反应工程研究所技术化学物理研究室,华东化工学院联合反应工程研究所技术化学物理研究室
• 出 处: 华东化工学院学报
• 发表日期: 1990年4期
• 关键词: 氮化钛 硬质涂层 化学气相淀积

在垂直冷壁CVD反应器中进行了文题的探索性研究。以二乙胺基钛（Ti（NEt₂）₄）为源,在不锈钢或硬质合金基体上完成了氮化钛（TiN）和碳氮化钛（Ti（C,N））硬质薄膜低温下的淀积。发现（TiN）和（Ti（C,N））分别在773K和973K下形成;在操作范围内整个反应器流场由自由对流控制;反应过程由表面过程控制;反应活化能为235 kJ/mol;二乙胺基钛反应级数为1级。进行了热力学计算,提出了反应历程假设。结果