【摘 要】
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针对集成电路制造过程中遇到的硅晶体滑移位错以及其引发的低良率问题(表现为器件漏电),提出改变衬底硅的形貌结构(角度)来改善滑移位错的方法。减小衬底硅的倾斜角度可以提高衬底硅材料的应力耐受能力,其机理是通过改变硅衬底的形貌结构,增大衬底硅承受机械应力的有效体积,分散和缓释了上电时电场力和机械应力的综合冲击。相应地,当滑移位错缺陷发生时,缓释的应力也会降低位错的传导速率,从而抑制位错缺陷的传导范围。电性参数表明:在可获得的衬底硅角度的范围内,越小的衬底硅倾斜角度,在高压测试时就具有越高的击穿电压,即具有更好的
【基金项目】
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上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1500223)。
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针对集成电路制造过程中遇到的硅晶体滑移位错以及其引发的低良率问题(表现为器件漏电),提出改变衬底硅的形貌结构(角度)来改善滑移位错的方法。减小衬底硅的倾斜角度可以提高衬底硅材料的应力耐受能力,其机理是通过改变硅衬底的形貌结构,增大衬底硅承受机械应力的有效体积,分散和缓释了上电时电场力和机械应力的综合冲击。相应地,当滑移位错缺陷发生时,缓释的应力也会降低位错的传导速率,从而抑制位错缺陷的传导范围。电性参数表明:在可获得的衬底硅角度的范围内,越小的衬底硅倾斜角度,在高压测试时就具有越高的击穿电压,即具有更好的
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