【摘 要】
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在微波等离子体化学气相沉积装置中,研究了负偏压形核对金刚石薄膜与WC-6%硬质合金刀具附着力的影响.结果表明,负偏压形核不仅能增加金刚石的核密度,还能改善金刚石核在WC晶
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所武汉化工学院;武汉化工学院;中国科学院等离子体物理研究所;
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在微波等离子体化学气相沉积装置中,研究了负偏压形核对金刚石薄膜与WC-6%硬质合金刀具附着力的影响.结果表明,负偏压形核不仅能增加金刚石的核密度,还能改善金刚石核在WC晶粒上分布的均匀性,增加膜基有效结合面积,从而增加金刚石薄膜附着力.因负偏压形核时含碳离子被偏压电场加速,对刀具表面产生溅射作用,采用铜替代置换钴的刀具,使用负偏压形核反而降低薄膜附着力;而采用磁控溅射镀铜的刀具,使用负偏压形核则能进一步提高金刚石薄膜的附着力.
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