【摘 要】
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通过双离子束溅射方法在蓝宝石、硅衬底上制备了单层SiO2薄膜,分析了SiO2薄膜残余应力、表面形貌、微观结构以及光学性能（可见-近红外0.41.2μm和中红外35μm波段）在400℃1 000
【机 构】
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天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,山东省计量科学研究院,中国科学院光电技术研究所
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通过双离子束溅射方法在蓝宝石、硅衬底上制备了单层SiO2薄膜,分析了SiO2薄膜残余应力、表面形貌、微观结构以及光学性能（可见-近红外0.41.2μm和中红外35μm波段）在400℃1 000℃温度范围内的演化规律.研究结果表明：在400℃附近,SiO2薄膜残余应力存在局部极小值;SiO2薄膜光学性能的演化与膜层表面质量、内部残余应力及微观结构变化密切相关;经1 000℃高温处理后,蓝宝石窗口表面SiO2薄膜红外透射性能仍能保持很好的稳定性,且膜层表面没有出现显著的气泡、开裂等损伤形貌.该研究结果可为恶劣
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