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【摘 要】
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CVD金刚石因其优越的物理化学特性被应用到许多高科技领域中,但目前抛光方法存在着效率低、精度差等诸多问题,无法满足高科技领域对金刚石高效超光滑的表面抛光.本文提出利用二氧化钛光催化辅助化学机械抛光方法实现CVD金刚石的高质量加工,为此研制一种用于金刚石抛光的二氧化钛光催化氧化原理结合辅助化学机械抛光液.首先,本文根据光催化原理搭建了相应的化学机械抛光装置.然后,采用甲基橙溶液氧化变色及溶液氧化还原
【机 构】
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沈阳工业大学机械工程学院 沈阳110870
【出 处】
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2016年中国(国际)光整加工技术及表面工程学术会议暨2016年中国光整加工技术产学研协调发展论坛
【发表日期】
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2016年12期
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