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本文从接触式干涉仪测微原理出发，运用几何光学的基本原理，导出接触式干涉仪分度值表达式，并对定分度值所产生的误差进行了分析，同时对减少定度误差提出了具体的调整方案。
接触式干涉仪定度误差分析及调整
【摘 要】
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本文从接触式干涉仪测微原理出发，运用几何光学的基本原理，导出接触式干涉仪分度值表达式，并对定分度值所产生的误差进行了分析，同时对减少定度误差提出了具体的调整方案。
【机 构】
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中航工业沈阳黎明航空发动机 集团 有限责任公司,沈阳,110043
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2015年1期
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