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通过原电池反应模型模拟,研究了TFT器件过孔腐蚀的机理。从材料的选择、过孔的形貌、金属间界面及表面防护四个方面,提出了提升过孔抗腐蚀能力的方向和详细措施。减少金属间的电势差和去除界面电解质溶液残留,是提升TFT器件过孔抗腐蚀能力的主要方向。
TFT器件过孔腐蚀机理研究及改善
【摘 要】
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通过原电池反应模型模拟,研究了TFT器件过孔腐蚀的机理。从材料的选择、过孔的形貌、金属间界面及表面防护四个方面,提出了提升过孔抗腐蚀能力的方向和详细措施。减少金属间
【机 构】
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合肥京东方光电科技有限公司
【出 处】
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中国金属通报
【发表日期】
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2019年12期
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